中国集成电路零部件创新联盟成员

精密半导体
陶瓷零部件制造商

上海百兰朵电子科技成立于2009年，专注于氧化铝、碳化硅、氮化铝、氮化硅等超硬材料精密零部件的研发与制造，服务全球半导体设备产业链。

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15+ 年行业经验
10,500 ㎡ 生产基地
50+ 台加工设备
24 家适用设备品牌
公司简介

依托科研院所
打造半导体核心零部件

公司依托中国科学院上海硅酸盐研究所、宁波材料所，以研发、生产半导体零部件为核心。通过ISO9001质量管理体系认证，取得多项授权专利。研发团队拥有博士3名、硕士5名、资深技术人员15名。

ISO 9001
多项专利
联盟成员
加工材料

多种超硬陶瓷材料

涵盖半导体制造所需的主要陶瓷材料体系

Al

氧化铝

Al₂O₃
Si

碳化硅

SiC
N

氮化硅

Si₃N₄
AN

氮化铝

AlN
B

碳化硼

B₄C
BN

氮化硼

BN
Ox

氧化硅

SiO₂
Co

堇青石

Mg₂Al₄Si₅O₁₈
产品与服务

精密陶瓷零部件

提供多种材料的精密零部件，支持定制加工、喷涂、CVD等工艺服务

氧化铝陶瓷制品

喷淋头、腔体盖、载具盘、机械臂等

碳化硅陶瓷制品

基座盘、聚焦环、挡板等高耐磨部件

氮化铝陶瓷制品

加热盘、喷淋头、管件等高导热部件

其他材料产品

石英件、金属件及各类定制化复合零部件

AMAT

AMAT 替换件

覆盖30余种零件号，含Shield、Cover Ring、Heater等

NAURA 北方华创

NAURA 替换件

陶瓷压环、聚焦环、隔离件、机械手指等

适用工艺

覆盖半导体核心制程

产品广泛应用于半导体制造的各个关键工艺环节

01

薄膜沉积工艺

02

刻蚀工艺

03

RTP 工艺

04

涂胶显影工艺

05

离子注入工艺

06

氧化扩散工艺

07

研磨抛光工艺

08

划裂工艺

加工精度

极致精度，工艺领先

<0.5μm

超高平面度

Φ590mm 工件可实现平面度 <0.5μm，满足 DMP、CMP 等高精度要求

<0.1μm

光学级抛光

离子束抛光可实现 Φ600mm，PV<0.1μm 的光学精度

0.1mm

微孔加工

陶瓷微孔加工精度可达 0.1mm × 1.2mm

适用设备

兼容全球主流设备品牌

产品适用于24家国内外主流半导体设备制造商

生产能力

三大生产基地

萍乡厂房

4,500 ㎡

配备烧结炉、脱泡机等十余台生产设备

宁波厂房

6,000 ㎡

含4000㎡无尘车间，80㎡百级洁净车间

加工与检测

50+ 台设备

加工中心、内外圆磨床、平面磨床、三坐标、粗糙度仪等

合作客户

部分合作企业

产品已应用于多家国内外知名半导体制造企业（排名不分先后）

期待与您合作

无论您需要标准件还是定制化零部件，我们都能提供专业的解决方案

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